ALD/CVD_南大光電

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四甲基硅烷（4MS）

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四甲基硅烷（4MS）

中文名：四甲基硅烷
英文名：Tetramethylsilane
CAS號：75-76-3
熔點：-99℃
沸點：26-28℃
產品等級：7N5
規格：10kg、20kg、110kg、125kg

四（二甲氨基）鈦（TDMAT）

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四（二甲氨基）鈦（TDMAT）

中文名：四（二甲氨基）鈦
英文名：Tetrakis(dimethylamino)titanium
CAS號：3275-24-9
沸點：50℃
產品等級：6N
規格：800g、900g、1000g、2200g、9700g

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