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                “中國芯”關鍵材料國產化

                三甲硅烷基胺 (TSA)
                • 中文名:三甲硅烷基胺
                • 英文名:Trisilylamine
                • CAS號:13862-16-3
                • 用途:通過流動化學氣相沉積(FCVD)形成氧化硅
                • 純度指標:99.65%
                • 規格:公斤級
                二異丙氨基硅烷 (DIPAS)
                • 中文名: 二異丙氨基硅烷
                • 英文名:Diisopropylaminosilane
                • CAS號:908831-34-5
                • 用途:形成晶種
                • 純度指標:8N
                • 規格:公斤級
                四氯化鈦 (Ticl?)
                • 中文名:四氯化鈦
                • 英文名:Titanium tetrachloride
                • CAS號:7550-45-0
                • 熔點:-25℃
                • 沸點:135 - 136 °C
                • 蒸氣壓:12.8 hPa 在 20 °C
                • 產品等級:6N
                • 規格:15kg
                四乙氧基硅烷 (TEOS)
                • 中文名:四乙氧基硅烷
                • 英文名:Tetraethoxysilane
                • CAS號:1978-10-4
                • 熔點:-82.49℃
                • 沸點:168°C
                • 蒸氣壓:10.0 hPa 在 20℃
                • 產品等級:9N
                • 規格:17.7kg、35kg、200kg
                a-松油烯 (ATRP)
                • 中文名:a-松油烯
                • 英文名:1-Isopropyl-4-methyl-1,3-cyclohexadiene
                • CAS號:99-86-5
                • 沸點:173-175℃
                • 產品等級:7N5
                • 規格:5kg、10kg、14kg、31kg
                二乙氧基甲基硅烷 (DEMS)
                • 中文名:二乙氧基甲基硅烷
                • 英文名:Diethoxy-methylsilane
                • CAS號:2031-62-1
                • 沸點:94-95℃
                • 蒸氣壓:40.10 hPa 在 20℃
                • 產品等級:8N
                • 規格:5kg、10kg、14kg、31kg
                雙(二乙氨基)硅烷 (BDEAS)
                • 中文名: 雙(二乙氨基)硅烷
                • 英文名:Bis(diethylamino)silane
                • CAS號:27804-64-4
                • 熔點:<-10℃
                • 沸點:188℃
                • 產品等級:5N
                • 規格:10kg
                六氯乙硅烷(HCDS)
                • 中文名:六氯乙硅烷
                • 英文名:Hexachlorodisilane
                • CAS號:13465-77-5
                • 沸點:144 - 145.5℃
                • 產品等級:6N
                • 規格:13kg
                產品服務
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