ALD/CVD_南大光電

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三甲硅烷基胺（TSA）

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三甲硅烷基胺（TSA）

中文名：三甲硅烷基胺
英文名：Trisilylamine
CAS號：13862-16-3
用途：通過流動化學氣相沉積（FCVD）形成氧化硅
純度指標：99.65%
規格：公斤級

二異丙氨基硅烷（DIPAS）

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二異丙氨基硅烷（DIPAS）

中文名：二異丙氨基硅烷
英文名：Diisopropylaminosilane
CAS號：908831-34-5
用途：形成晶種
純度指標：8N
規格：公斤級

四氯化鈦（Ticl?）

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四氯化鈦（Ticl?）

中文名：四氯化鈦
英文名：Titanium tetrachloride
CAS號：7550-45-0
熔點：-25℃
沸點：135 - 136 °C
蒸氣壓：12.8 hPa 在 20 °C
產品等級：6N
規格：15kg

四乙氧基硅烷（TEOS）

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四乙氧基硅烷（TEOS）

中文名：四乙氧基硅烷
英文名：Tetraethoxysilane
CAS號：1978-10-4
熔點：-82.49℃
沸點：168°C
蒸氣壓：10.0 hPa 在 20℃
產品等級：9N
規格：17.7kg、35kg、200kg

a-松油烯（ATRP）

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a-松油烯（ATRP）

中文名：a-松油烯
英文名：1-Isopropyl-4-methyl-1,3-cyclohexadiene
CAS號：99-86-5
沸點：173-175℃
產品等級：7N5
規格：5kg、10kg、14kg、31kg

二乙氧基甲基硅烷（DEMS）

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二乙氧基甲基硅烷（DEMS）

中文名：二乙氧基甲基硅烷
英文名：Diethoxy-methylsilane
CAS號：2031-62-1
沸點：94-95℃
蒸氣壓：40.10 hPa 在 20℃
產品等級：8N
規格：5kg、10kg、14kg、31kg

雙（二乙氨基）硅烷（BDEAS）

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雙（二乙氨基）硅烷（BDEAS）

中文名：雙（二乙氨基）硅烷
英文名：Bis(diethylamino)silane
CAS號：27804-64-4
熔點：＜-10℃
沸點：188℃
產品等級：5N
規格：10kg

六氯乙硅烷（HCDS）

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六氯乙硅烷（HCDS）

中文名：六氯乙硅烷
英文名：Hexachlorodisilane
CAS號：13465-77-5
沸點：144 - 145.5℃
產品等級：6N
規格：13kg

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